日本SMC電磁閥，SMC4通電磁閥

通口加壓的N.C.型閥能在產品規(guī)格中的動作壓
力差內使用。在以下用途使用時，
200/300  Max.1.0MPa(真空：1.3×10-6kPa) 0.01μm
可以用于潔凈室等無臭要求*的領域。
采用吸著面積大的活性炭纖維濾芯。
濾芯容易安裝更換。 可更換濾芯的卡盤式。
僅通過調整差壓就可輕松實現給油量設定。
通過開關給油塞可在不停止通氣的情況下實現補油。
可通過給油孔觀察到微霧的產生情況。
直筒式 SFB300  Max.15MPa
(真空：1.3×10-6kPa) 0.01μm捕捉效率99.99%)
多層盤式 SFC100  Max.1.8MPa
(真空：1.3×10-6kPa)
特長 用于半導體工藝的一次性使用式
(P)通口用于真空破壞壓。
3(R)和1(P)的壓力差為各型號的動作壓力差。
(真空：1.3×10-6kPa)
要注意配管通口，
使用壓力差和允許泄漏量。真空破壞下的使用的情況
卡盤式直筒式 SFB100  Max.1.0MPa
下圖的3(R)通口用于真空壓
類型 系列/CAD 使用壓力 過濾精度
使用活性炭纖維濾芯，有效除去壓縮空氣中的臭味。